Vatam bünyesinde bulunan fabrikasyon, kalibrasyon ve karakterizasyon araçları şu şekilde sıralanabilir:

•500nm çözünürlüğe kadar fotolitografi

•PECVD ince film büyütme

•Termal buharlaştırma ve saçtırma yöntemleri ile metal kaplama

•Tavlama ve hızlı termal işleme

•Termal oksitleme

•Reaktif iyon aşındırma

•1nm hassasiyette kalınlık ölçme

•Optik ve elektron mikrograf

•Raman ışıması karakterizasyonu