MATERIAL SAFETY DATA SHEET

• 1% ArF Excimerlaser
  
• 1-3.7% ArF
  
• Acetic Acid
  
• Acetone
  
• Aluminium
  
• Aluminum
  
• Al₂O₃
  
• Ammonia
  
• Ammonium Fluoride
  
• Argon
  
• AZ 100 REMOVER en (DE)
  
• AZ 726 MIF DEVELOPER en (DE)
  
• AZ 726 MIF
  
• AZ MIR 701 PHOTORESIST (14 CPS) en (US)
  
• AZ 400K DEVELOPER
  
• AZ 5214e
  
• BCl₃
  
• CCl₂F₂
  
• CF₄
  
• CH₄
  
• Chemical Resistance for Glove Materials
  
• CHF₃
  
• Chlorobenzene
  
• Chrome
  
• Citric Acid
  
• Cl₂
  
• Cr
  
• Ethanol
  
• Ethyl Acetate
  
• Ethylene Glycol
  
• Germanium
  
• Gold
  
• H₂
  
• H₂SO₄
  
• H₃PO₄
  
• HCl
  
• He
  
• HF
  
• Hmds
  
• Hmds2
  
• HNO₃
  
• Hyrogen Peroxide
  
• Indium
  
• Isopropanol
  
• ITO 2731TN
  
• Methanol
  
• MgF₂
  
• N₂O
  
• NH₃
  
• Nickel
  
• Nitrogen
  
• Oxygen
  
• Platinum
  
• Pmma
  
• Potassium Hydroxide
  
• Pt
  
• Risk and Safety Phrases
  
• SDS TI 35 ES (Version 2003-09-10) en
  
• SF₆
  
• SiCl₄
  
• Si₃N₄ 4740KE
  
• SiH₄
  
• Si₂O
  
• Silicon
  
• Silicondioxide
  
• Silver
  
• Tce
  
• Titaniummetal
  
• Tungsten
  
• Toluene